上海球化退火爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過程中的關(guān)鍵裝備。供應(yīng)球化退火爐主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長(zhǎng)高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)國(guó)內(nèi)開發(fā)和研究具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備，有著重要的理論意義和工程應(yīng)用價(jià)值。公司針對(duì)現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對(duì)快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求，在綜合分析國(guó)內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上，通過深入的分析研究，設(shè)計(jì)了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置，上下兩排成正交的燈管組對(duì)位于其中間的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行直接加熱實(shí)現(xiàn)溫度的快速上升，以單點(diǎn)測(cè)溫作為溫度測(cè)量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論，以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標(biāo)作為己知參數(shù)計(jì)算得到系統(tǒng)所需要的熱功率。

上海球化退火爐表面硬度要求56～64HRC；熱處理 序要求0.8～1.0 mm (514HV)，表面硬度要求57～64HRC。可以看出，這幾種零件的滲層均屬于淺層滲碳。滲后進(jìn)行磨削加工，磨削后的硬度需在要求的范圍內(nèi)。左右曲柄、連桿和曲柄銷經(jīng)壓合后，仃一定的扣矩要求，因此曲柄、曲柄銷之問有一定的過盈暈。連桿、曲柄銷要求耐磨，但曲柄不儀要求耐磨，還要求強(qiáng)度與韌性之間合適的配合。球化退火爐生產(chǎn)指出曲柄壓合后，曲柄銷受的是壓應(yīng)力，如果曲柄受的是托應(yīng)力，曲柄的強(qiáng)度與韌性配合將不好，曲柄容易開裂。

上海球化退火爐爐輥的安裝是什么樣子的呢？供應(yīng)球化退火爐下面為大家詳細(xì)介紹。爐輥的安裝分上、下爐輥兩個(gè)部分，下部爐輥用專用吊具吊入后放到升降臺(tái)車上，然后進(jìn)行兩端零部件的組裝。上部爐輥用專用吊具吊入后則應(yīng)用手拉葫蘆將其吊住，然后進(jìn)行兩端零部件的組裝。上部爐輥安裝要考慮爐殼的受熱膨脹，爐輥安裝時(shí)要注意軸承的間隙調(diào)整。以裝入時(shí)測(cè)的軸承原始狀態(tài)的間隙為初始值，然后將軸承鎖緊帽扮緊，測(cè)得最小值后再松開軸承鎖緊帽，調(diào)整測(cè)量軸承間隙達(dá)到設(shè)計(jì)要求的數(shù)值為止，然后進(jìn)行其他部件的安裝工作。爐子內(nèi)襯板的安裝。爐子內(nèi)襯板的安裝是換代爐子的一個(gè)顯著特點(diǎn)，它是以爐內(nèi)新型的保溫材料代替了舊的保溫材料，外面再用不銹鋼內(nèi)襯板封住保溫材料的結(jié)構(gòu)方式。

上海球化退火爐可以在520度的高溫下正常工作，供應(yīng)球化退火爐為真空密封的不銹鋼罐，有高硬度，高耐磨性，氮化爐的主要特點(diǎn)是：1，氮化爐處理時(shí)間短，工件變形小。2，氮化爐不受材質(zhì)的影響，可以處理不銹鋼、鑄鐵及鐵基粉未冶金材料、碳鋼、低合金鋼、工模具鋼。3，氮化爐防摩擦，防腐蝕。4，氮化爐有一定的仍性，不容易剝落。為了縮短氮化周期，并使氮化工藝不受鋼種的限制，在近年間在氮化爐工藝基礎(chǔ)上發(fā)展了軟氮化和離子氮化兩種新氮化工藝。氮化爐處理結(jié)果與一般氣體氮化相比，滲層硬度較氮化低，脆性較小。公司的主要產(chǎn)品箱式多用爐生產(chǎn)線，井式爐生產(chǎn)線，單、雙推盤爐生產(chǎn)線，輥棒爐生產(chǎn)線，網(wǎng)帶爐生產(chǎn)線等。

上海球化退火爐具有處理溫度低，時(shí)間短，工件變形小的特點(diǎn)，供應(yīng)球化退火爐性質(zhì)：高疲勞極限和良好的耐磨性。1.滲氮前的氣體氮化爐必須是先經(jīng)過正火或調(diào)質(zhì)處理過的工件。2.先用汽油和酒精擦洗氣體氮化爐工件表面，不得有銹斑、油污、臟物存在。3.裝入爐內(nèi)后，對(duì)稱擰緊爐蓋壓緊螺栓。4.將爐罐和爐蓋進(jìn)水口通入冷卻水進(jìn)行循環(huán)水冷。氣體氮化爐爐蓋上管道冷卻水下端為進(jìn)水，上端為出水，爐罐單獨(dú)進(jìn)水，單獨(dú)排水，氣體氮化爐爐蓋所有水管可按低進(jìn)高出原則串聯(lián)。5.氣體氮化爐升溫前應(yīng)先送氮?dú)馀艢?，排氣時(shí)流量應(yīng)比使用時(shí)大一倍以上。排氣10分鐘后，將控溫儀表設(shè)定到150℃，自動(dòng)加熱開關(guān)撥向開，氣體氮化爐邊排氣邊加熱150℃保持2h排氣，再將控溫儀表設(shè)定到530℃，把氨氣流量調(diào)小，保持爐內(nèi)正壓。