重慶多用爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過程中的關(guān)鍵裝備。專業(yè)多用爐主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展，對國內(nèi)開發(fā)和研究具有自主知識產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備，有著重要的理論意義和工程應(yīng)用價值。公司針對現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求，在綜合分析國內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上，通過深入的分析研究，設(shè)計了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置，上下兩排成正交的燈管組對位于其中間的半導(dǎo)體硅片進行直接加熱實現(xiàn)溫度的快速上升，以單點測溫作為溫度測量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論，以實現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標(biāo)作為己知參數(shù)計算得到系統(tǒng)所需要的熱功率。

重慶多用爐用 途：采用純氫氣、氨分解或氨燃燒氣體作保護氣， ZYGW系列連續(xù)式高溫?zé)崽幚砭W(wǎng)帶爐適用于粉末冶金零件燒結(jié)、釬焊以及一些不銹鋼件 的淬火和固溶處理。適用范圍：A、粉末冶金零件的燒結(jié)；B、硬質(zhì)合金工具及其它組合件的釬焊；C、馬氏體不銹鋼五金工具（或器具）、醫(yī)療器械、測量工具淬火；D、高鉻工具鋼、高速工具鋼、基體鋼制工模具淬火；五、奧氏體不銹鋼、耐熱鋼零件的固溶化處理，專業(yè)多用爐適用于軸承,制釘及滲碳淬火后的機械零件的回火處理。 RC型網(wǎng)帶式熱風(fēng)循環(huán)回火爐也可用于發(fā)黑前的加熱（表面處理工藝） 配有強力風(fēng)機，以強制空氣循環(huán)，達到爐內(nèi)溫度一致。 直棒式加熱元件便于維修及更換。網(wǎng)帶運行平穩(wěn)，無級調(diào)速。

重慶多用爐為了提高效率并有效降低成本，采用剃齒工藝，工藝路線為：齒坯加工——滾齒——熱處理——硬車內(nèi)孔和端面——成品，即在熱處理后不對齒輪進行精加工，關(guān)鍵尺寸、齒輪精度都在熱處理過程中保證，多用爐廠家指出通過分析，該齒輪主要的制造難度在內(nèi)孔和B端面的熱處理畸變，以往的生產(chǎn)過程記錄顯示B端面的平面度在0.08-0.25mm之間，因齒輪內(nèi)孔和端面是檢驗和安裝基準(zhǔn)，內(nèi)孔和端面的超差直接安裝后差速器異響的問題較突出。因此，控制內(nèi)孔的熱處理畸變及端面的平面度是剃齒工藝成功的關(guān)鍵。1．對于不能成批定型生產(chǎn)的，工件大小不相等的，種類較多的，多用爐廠家要求工藝上具有通用性、多用性的，可選用箱式多用爐。2．加熱長軸類及長的絲桿，管子等工件時，可選用深井式電爐。

重慶多用爐是屬于很特殊的一種電爐，在很多行業(yè)中都有很大的應(yīng)用，氣氛網(wǎng)帶爐主要由爐體，溫控系統(tǒng)以及網(wǎng)帶傳動系統(tǒng)三部分組成，其中，氣氛網(wǎng)帶爐爐體由進料段、預(yù)燒段、燒結(jié)段、緩冷段、水冷段及出料段組成；溫控系統(tǒng)由熱電偶、數(shù)顯式智能PID調(diào)節(jié)器和可控硅組成，形成閉環(huán)控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)自動精確控溫. 加熱元件采用FEC陶瓷加熱板或陶瓷發(fā)熱棒；網(wǎng)帶傳動系統(tǒng)由耐高溫網(wǎng)帶、傳動裝置等組成。網(wǎng)帶的運行速度通過變頻器調(diào)節(jié)，配置有數(shù)顯式網(wǎng)帶測速裝置，可直讀網(wǎng)帶速度。專業(yè)多用爐適用于中小軸承圈套、滾子、自攻螺釘、螺帽、手工具、五金零件等的熱處理。氣氛網(wǎng)帶爐熱處理零件質(zhì)量穩(wěn)定，質(zhì)量重現(xiàn)性好，零件表面光潔。

重慶多用爐外側(cè)的表面氧化剝落，會導(dǎo)致開裂，使?jié)B碳爐爐罐漏氣是失效的主要形式。鑄造缺陷對爐罐的使用壽命影響很大，往往在缺陷處的氧化、開裂機會較多。爐罐輕微開裂后經(jīng)補焊使用不久，又很快損壞，這主要是由于經(jīng)氧化、滲碳后焊接性能下降所致。由于滲碳爐罐的外側(cè)接近電熱元件，溫度較高，專業(yè)多用爐可達950一l000度，爐罐具有良好的抗氧化性;爐罐的內(nèi)側(cè)處于滲碳氣氛中，這就要求滲碳爐又需具有良好的抗?jié)B碳性。同時，還因滲碳爐的載荷較大，故還要求滲碳爐具有較高的高溫強度。有時在滲碳爐口部以下產(chǎn)生環(huán)狀裂紋，這與滲碳爐的結(jié)構(gòu)及該區(qū)復(fù)雜的應(yīng)力情況有關(guān)。從結(jié)構(gòu)上可以看出，產(chǎn)生環(huán)裂區(qū)域正是滲碳爐罐內(nèi)高溫區(qū)與上部罐口部分的低溫區(qū)之間的過渡地帶。

智能控制技術(shù)特別適合于退火爐這樣具有非線性、時變的控制系統(tǒng)。隨著智能技術(shù)的不斷發(fā)展，越來越多的智能技術(shù)融入到控制理論中，如專家系統(tǒng)控制、模糊控制、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制、遺傳算法、人工免疫等控制算法。多用爐廠家指出這些控制方法在退火爐等工業(yè)爐窯控制中也逐步得到了應(yīng)用。退火爐主要部件為加熱部件和冷卻部件，期望能實現(xiàn)比較均衡穩(wěn)定的溫度控制。國內(nèi)外很多學(xué)者在溫度控制方面進行了大量的研究，在控制方法和控制手段上的研究成果直接推動著退火爐控制的研制工作。對罩式光亮退火爐控制系統(tǒng)進行了分析研究，使用PID算法進行編程，重慶多用爐采用可編程控制器在該爐電氣控制系統(tǒng)中進行了實際應(yīng)用，取得了較好的生產(chǎn)效益。