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廣東供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐生產(chǎn)

2021-08-14
廣東供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐生產(chǎn)

廣東調(diào)質(zhì)爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過程中的關(guān)鍵裝備。供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展,對國內(nèi)開發(fā)和研究具有自主知識產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備,有著重要的理論意義和工程應(yīng)用價值。公司針對現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求,在綜合分析國內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上,通過深入的分析研究,設(shè)計了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置,上下兩排成正交的燈管組對位于其中間的半導(dǎo)體硅片進行直接加熱實現(xiàn)溫度的快速上升,以單點測溫作為溫度測量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論,以實現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標(biāo)作為己知參數(shù)計算得到系統(tǒng)所需要的熱功率。

廣東供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐生產(chǎn)

廣東調(diào)質(zhì)爐一般是由爐體,網(wǎng)帶傳動系統(tǒng)及溫控三大部分組成,它主要是用于粉末冶金制品燒結(jié)及金屬粉末的還原。供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐按照運行發(fā)生可分為托輥爐和托板爐兩種,托板爐又分有馬弗爐和無馬弗爐兩種。由于網(wǎng)帶爐在窯爐系統(tǒng)中經(jīng)常被使用到,所以難免會出現(xiàn)一些故障。下面對幾種常見故障以及解決辦法進行一個簡要的分析以及檢修處理。1、加熱開關(guān)沒有開,但溫度仍然上升。造成這種情況的原因是加熱交流接觸器的觸頭粘合在一起,無法斷開。排除辦法是更換接觸器。2、打開加熱開關(guān)后電源跳閘。3、通電后無法開機。4、爐體內(nèi)部溫度不均勻,異常偏高。只有定期對網(wǎng)帶爐內(nèi)的各個項目,例如控制箱內(nèi)、爐頂蓋通風(fēng)孔、控制箱各部件螺絲等項目經(jīng)常進行檢查,相信可以未雨綢繆,避免許多不必要造成的故障。

廣東供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐生產(chǎn)

廣東調(diào)質(zhì)爐外側(cè)的表面氧化剝落,會導(dǎo)致開裂,使?jié)B碳爐爐罐漏氣是失效的主要形式。鑄造缺陷對爐罐的使用壽命影響很大,往往在缺陷處的氧化、開裂機會較多。爐罐輕微開裂后經(jīng)補焊使用不久,又很快損壞,這主要是由于經(jīng)氧化、滲碳后焊接性能下降所致。由于滲碳爐罐的外側(cè)接近電熱元件,溫度較高,供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐可達(dá)950一l000度,爐罐具有良好的抗氧化性;爐罐的內(nèi)側(cè)處于滲碳?xì)夥罩?,這就要求滲碳爐又需具有良好的抗?jié)B碳性。同時,還因滲碳爐的載荷較大,故還要求滲碳爐具有較高的高溫強度。有時在滲碳爐口部以下產(chǎn)生環(huán)狀裂紋,這與滲碳爐的結(jié)構(gòu)及該區(qū)復(fù)雜的應(yīng)力情況有關(guān)。從結(jié)構(gòu)上可以看出,產(chǎn)生環(huán)裂區(qū)域正是滲碳爐罐內(nèi)高溫區(qū)與上部罐口部分的低溫區(qū)之間的過渡地帶。

廣東供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐生產(chǎn)

廣東調(diào)質(zhì)爐包括爐體,所述爐體包括承壓罐體、加熱元件、位于所述承壓罐體內(nèi)的加熱滲氮室、以及位于所述承壓罐體外側(cè)的冷卻系統(tǒng);所述承壓罐體的內(nèi)壁上設(shè)置有耐火保溫層,所述加熱滲氮室的壁為所述耐火保溫層,所述加熱元件安裝在所述耐火保溫層上。在現(xiàn)有技術(shù)中,為了提高金屬工件表面層的硬度、耐磨性及抗腐蝕性等性能,人們采用滲氮的化學(xué)熱處理工藝向鋼的表面層滲入氮原子。供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐具體工藝如下:把金屬工件放入密封的耐熱鋼罐中,通入流動的氮氣或氨氣等,加熱,保溫較長的一段時間后,氮氣或氨氣熱分解產(chǎn)生活性氮原子,不斷吸附到金屬工件表面,并擴散滲入金屬工件表層內(nèi),從而改變表層的化學(xué)成分和組織,獲得優(yōu)良的表面性能。

廣東供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐生產(chǎn)

廣東調(diào)質(zhì)爐用 途:采用純氫氣、氨分解或氨燃燒氣體作保護氣, ZYGW系列連續(xù)式高溫?zé)崽幚砭W(wǎng)帶爐適用于粉末冶金零件燒結(jié)、釬焊以及一些不銹鋼件 的淬火和固溶處理。適用范圍:A、粉末冶金零件的燒結(jié);B、硬質(zhì)合金工具及其它組合件的釬焊;C、馬氏體不銹鋼五金工具(或器具)、醫(yī)療器械、測量工具淬火;D、高鉻工具鋼、高速工具鋼、基體鋼制工模具淬火;五、奧氏體不銹鋼、耐熱鋼零件的固溶化處理,供應(yīng)調(diào)質(zhì)爐適用于軸承,制釘及滲碳淬火后的機械零件的回火處理。 RC型網(wǎng)帶式熱風(fēng)循環(huán)回火爐也可用于發(fā)黑前的加熱(表面處理工藝) 配有強力風(fēng)機,以強制空氣循環(huán),達(dá)到爐內(nèi)溫度一致。 直棒式加熱元件便于維修及更換。網(wǎng)帶運行平穩(wěn),無級調(diào)速。

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