重慶鹽槽是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過(guò)程中的關(guān)鍵裝備。專業(yè)鹽槽主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長(zhǎng)高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)國(guó)內(nèi)開(kāi)發(fā)和研究具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備,有著重要的理論意義和工程應(yīng)用價(jià)值。公司針對(duì)現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對(duì)快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求,在綜合分析國(guó)內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上,通過(guò)深入的分析研究,設(shè)計(jì)了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置,上下兩排成正交的燈管組對(duì)位于其中間的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行直接加熱實(shí)現(xiàn)溫度的快速上升,以單點(diǎn)測(cè)溫作為溫度測(cè)量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論,以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標(biāo)作為己知參數(shù)計(jì)算得到系統(tǒng)所需要的熱功率。
重慶鹽槽是屬于很特殊的一種電爐,在很多行業(yè)中都有很大的應(yīng)用,氣氛網(wǎng)帶爐主要由爐體,溫控系統(tǒng)以及網(wǎng)帶傳動(dòng)系統(tǒng)三部分組成,其中,氣氛網(wǎng)帶爐爐體由進(jìn)料段、預(yù)燒段、燒結(jié)段、緩冷段、水冷段及出料段組成;溫控系統(tǒng)由熱電偶、數(shù)顯式智能PID調(diào)節(jié)器和可控硅組成,形成閉環(huán)控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)精確控溫. 加熱元件采用FEC陶瓷加熱板或陶瓷發(fā)熱棒;網(wǎng)帶傳動(dòng)系統(tǒng)由耐高溫網(wǎng)帶、傳動(dòng)裝置等組成。網(wǎng)帶的運(yùn)行速度通過(guò)變頻器調(diào)節(jié),配置有數(shù)顯式網(wǎng)帶測(cè)速裝置,可直讀網(wǎng)帶速度。專業(yè)鹽槽適用于中小軸承圈套、滾子、自攻螺釘、螺帽、手工具、五金零件等的熱處理。氣氛網(wǎng)帶爐熱處理零件質(zhì)量穩(wěn)定,質(zhì)量重現(xiàn)性好,零件表面光潔。
重慶鹽槽使用安全操作步驟1.滲氮前的氣體氮化爐必須是先經(jīng)過(guò)正火或調(diào)質(zhì)處理過(guò)的工件。2.先用汽油和酒精擦洗氣體氮化爐工件表面,不得有銹斑、油污、臟物存在。3.裝入爐內(nèi)后,對(duì)稱擰緊爐蓋壓緊螺栓。4.將爐罐和爐蓋進(jìn)水口通入冷卻水進(jìn)行循環(huán)水冷。氣體氮化爐爐蓋上管道冷卻水下端為進(jìn)水,上端為出水,爐罐單獨(dú)進(jìn)水,單獨(dú)排水,專業(yè)鹽槽爐蓋所有水管可按低進(jìn)高出原則串聯(lián),由一個(gè)口進(jìn)水,一個(gè)口排水。5.氣體氮化爐升溫前應(yīng)先送氮?dú)馀艢?,排氣時(shí)流量應(yīng)比使用時(shí)大一倍以上。排氣10分鐘后,將控溫儀表設(shè)定到150℃,自動(dòng)加熱開(kāi)關(guān)撥向開(kāi),氣體氮化爐邊排氣邊加熱150℃保持2h排氣,再將控溫儀表設(shè)定到530℃,把氨氣流量調(diào)小,保持爐內(nèi)正壓。
重慶鹽槽使用安全操作步驟是什么樣子的呢?鹽槽廠家下面為大家做個(gè)詳細(xì)的介紹。1.滲氮前的氣體氮化爐必須是先經(jīng)過(guò)正火或調(diào)質(zhì)處理過(guò)的工件。2.先用汽油和酒精擦洗氣體氮化爐工件表面,不得有銹斑、油污、臟物存在。3.裝入爐內(nèi)后,對(duì)稱擰緊爐蓋壓緊螺栓。4.將爐罐和爐蓋進(jìn)水口通入冷卻水進(jìn)行循環(huán)水冷。氣體氮化爐爐蓋上管道冷卻水下端為進(jìn)水,上端為出水,爐罐單獨(dú)進(jìn)水,單獨(dú)排水,氣體氮化爐爐蓋所有水管可按低進(jìn)高出原則串聯(lián),由一個(gè)口進(jìn)水,一個(gè)口排水。5.氣體氮化爐升溫前應(yīng)先送氮?dú)馀艢?,排氣時(shí)流量應(yīng)比使用時(shí)大一倍以上。體氮化爐具有處理溫度低,時(shí)間短,工件變形小的特點(diǎn),性質(zhì):高疲勞極限和良好的耐磨性。
重慶鹽槽爐輥的安裝是什么樣子的呢?專業(yè)鹽槽下面為大家詳細(xì)介紹。爐輥的安裝分上、下?tīng)t輥兩個(gè)部分,下部爐輥用專用吊具吊入后放到升降臺(tái)車上,然后進(jìn)行兩端零部件的組裝。上部爐輥用專用吊具吊入后則應(yīng)用手拉葫蘆將其吊住,然后進(jìn)行兩端零部件的組裝。上部爐輥安裝要考慮爐殼的受熱膨脹,爐輥安裝時(shí)要注意軸承的間隙調(diào)整。以裝入時(shí)測(cè)的軸承原始狀態(tài)的間隙為初始值,然后將軸承鎖緊帽扮緊,測(cè)得最小值后再松開(kāi)軸承鎖緊帽,調(diào)整測(cè)量軸承間隙達(dá)到設(shè)計(jì)要求的數(shù)值為止,然后進(jìn)行其他部件的安裝工作。爐子內(nèi)襯板的安裝。爐子內(nèi)襯板的安裝是換代爐子的一個(gè)顯著特點(diǎn),它是以爐內(nèi)新型的保溫材料代替了舊的保溫材料,外面再用不銹鋼內(nèi)襯板封住保溫材料的結(jié)構(gòu)方式。
重慶鹽槽主要用于產(chǎn)品的滲碳淬火工序,生產(chǎn)過(guò)程為編訂工藝程序后設(shè)備按照程序自動(dòng)化生產(chǎn),溫度可由熱電偶直接測(cè)量,而氣氛碳勢(shì)則無(wú)法直接測(cè)量,其測(cè)量值為多項(xiàng)參數(shù)通過(guò)計(jì)算得出,參數(shù)的變化可能導(dǎo)致碳勢(shì)測(cè)量值與真實(shí)值間較大的偏差,進(jìn)而導(dǎo)致?tīng)t內(nèi)碳勢(shì)失控,嚴(yán)重威脅產(chǎn)品質(zhì)量。鹽槽廠家介紹氣體滲碳的氣氛一般主要由N2COH2組成,同時(shí)含有微量 CO2H2OO2CH4等,這些氣體在高溫下和鋼以及其中碳 化物發(fā)生不同的化學(xué)反應(yīng),各種氣體之間也將發(fā)生某些化學(xué)反應(yīng)??梢韵胂笃渲械姆磻?yīng)必然十分復(fù)雜,需要具體分析才能做好氣氛控制。如果多用爐不論用什么工藝滲碳,從金相組織看碳勢(shì)都很高。