江蘇滲碳爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過程中的關(guān)鍵裝備。推薦滲碳爐主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長(zhǎng)高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)國(guó)內(nèi)開發(fā)和研究具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備，有著重要的理論意義和工程應(yīng)用價(jià)值。公司針對(duì)現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對(duì)快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求，在綜合分析國(guó)內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上，通過深入的分析研究，設(shè)計(jì)了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置，上下兩排成正交的燈管組對(duì)位于其中間的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行直接加熱實(shí)現(xiàn)溫度的快速上升，以單點(diǎn)測(cè)溫作為溫度測(cè)量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論，以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標(biāo)作為己知參數(shù)計(jì)算得到系統(tǒng)所需要的熱功率。

智能控制技術(shù)特別適合于退火爐這樣具有非線性、時(shí)變的控制系統(tǒng)。隨著智能技術(shù)的不斷發(fā)展，越來越多的智能技術(shù)融入到控制理論中，如專家系統(tǒng)控制、模糊控制、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制、遺傳算法、人工免疫等控制算法。滲碳爐廠家指出這些控制方法在退火爐等工業(yè)爐窯控制中也逐步得到了應(yīng)用。退火爐主要部件為加熱部件和冷卻部件，期望能實(shí)現(xiàn)比較均衡穩(wěn)定的溫度控制。國(guó)內(nèi)外很多學(xué)者在溫度控制方面進(jìn)行了大量的研究，在控制方法和控制手段上的研究成果直接推動(dòng)著退火爐控制的研制工作。對(duì)罩式光亮退火爐控制系統(tǒng)進(jìn)行了分析研究，使用PID算法進(jìn)行編程，江蘇滲碳爐采用可編程控制器在該爐電氣控制系統(tǒng)中進(jìn)行了實(shí)際應(yīng)用，取得了較好的生產(chǎn)效益。

江蘇滲碳爐用途：各種金屬機(jī)件和材料的回火、淬火、預(yù)熱等熱處理。推薦滲碳爐特點(diǎn)：1、電爐設(shè)有熱風(fēng)循環(huán)裝置使?fàn)t溫均勻，工件受熱均勻；2、電爐裝載量大、生產(chǎn)率高，適用于各種類型的　機(jī)件回火、淬火、預(yù)熱用；3、電爐爐襯采用全纖維結(jié)構(gòu)，提高爐體保溫性能，節(jié)約能源，降低生產(chǎn)成本；4、電　爐裝御料方便，操作條件好；5、爐門為前后雙開式，２只裝料臺(tái)車輪流工作，節(jié)約能量并提高效率，操作方便；　6、電爐設(shè)有連鎖保護(hù)裝置，可防止因誤操作而發(fā)生的故障及事故；7、無污染，環(huán)保效益好。

江蘇滲碳爐處理是指一種在一定溫度下一定介質(zhì)中使氮原子滲入工件表層的化學(xué)熱處理工藝。經(jīng)氮化處理的制品具有優(yōu)異的耐磨性、耐疲勞性、耐蝕性及耐高溫的特性。往氮化爐內(nèi)不銹鋼真空密封罐中通入氨氣，加熱到520℃，保持適當(dāng)?shù)臅r(shí)間，根據(jù)工件材質(zhì)和滲層要求3-90小時(shí)不等，使?jié)B氮工件表面獲得含氮強(qiáng)化層，得到高硬度，高耐磨性，高疲勞極限和良好的耐磨性。推薦滲碳爐操作方法：1.滲氮前的模具必須是先經(jīng)過正火或調(diào)質(zhì)處理過的工件。2.先用汽油和酒精擦洗工件表面，不得有銹斑、油污、臟物存在。3.裝入爐內(nèi)后，對(duì)稱擰緊爐蓋壓緊螺栓。 4.將爐罐和爐蓋進(jìn)水口通入冷卻水進(jìn)行循環(huán)水冷。爐蓋上管道冷卻水下端為進(jìn)水，上端為出水，爐罐單獨(dú)進(jìn)水，單獨(dú)排水，爐蓋所有水管可按低進(jìn)高出原則串聯(lián)，由一個(gè)口進(jìn)水，一個(gè)口排水。

江蘇滲碳爐其設(shè)備的特點(diǎn)(1)、氣體氮化爐處理溫度低，時(shí)間短，工件變形小。(2)、氣體氮化爐不受鋼種限制，碳鋼、低合金鋼、工模具鋼、不銹鋼、鑄鐵及鐵基粉未冶金材料均可進(jìn)行軟氮化處理。氣體氮化爐工件經(jīng)軟氮化后的表面硬度與氮化工藝及材料有關(guān)。(3)、氣體氮化爐能顯著地提高工件的疲勞強(qiáng)度、耐磨性和耐腐蝕性。氣體氮化爐在干摩擦條件下還具有抗擦傷和抗咬合等性能。(4)、氣體氮化爐由于軟氮化層不存在脆性相，故氮化層因而具有一定的韌性，不容易剝落。因此，推薦【主詞生產(chǎn)中軟氮化已廣泛應(yīng)用于模具、量具、刀具(如：高速鋼刀具)等、曲軸、齒輪、氣缸套、機(jī)械結(jié)構(gòu)件等耐磨工件的處理。