陜西網(wǎng)帶爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過(guò)程中的關(guān)鍵裝備。專(zhuān)業(yè)網(wǎng)帶爐主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長(zhǎng)高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)國(guó)內(nèi)開(kāi)發(fā)和研究具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備，有著重要的理論意義和工程應(yīng)用價(jià)值。公司針對(duì)現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對(duì)快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求，在綜合分析國(guó)內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上，通過(guò)深入的分析研究，設(shè)計(jì)了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置，上下兩排成正交的燈管組對(duì)位于其中間的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行直接加熱實(shí)現(xiàn)溫度的快速上升，以單點(diǎn)測(cè)溫作為溫度測(cè)量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論，以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標(biāo)作為己知參數(shù)計(jì)算得到系統(tǒng)所需要的熱功率。

陜西網(wǎng)帶爐具有處理溫度低，時(shí)間短，工件變形小的特點(diǎn)，專(zhuān)業(yè)網(wǎng)帶爐性質(zhì)：高疲勞極限和良好的耐磨性。1.滲氮前的氣體氮化爐必須是先經(jīng)過(guò)正火或調(diào)質(zhì)處理過(guò)的工件。2.先用汽油和酒精擦洗氣體氮化爐工件表面，不得有銹斑、油污、臟物存在。3.裝入爐內(nèi)后，對(duì)稱(chēng)擰緊爐蓋壓緊螺栓。4.將爐罐和爐蓋進(jìn)水口通入冷卻水進(jìn)行循環(huán)水冷。氣體氮化爐爐蓋上管道冷卻水下端為進(jìn)水，上端為出水，爐罐單獨(dú)進(jìn)水，單獨(dú)排水，氣體氮化爐爐蓋所有水管可按低進(jìn)高出原則串聯(lián)。5.氣體氮化爐升溫前應(yīng)先送氮?dú)馀艢?，排氣時(shí)流量應(yīng)比使用時(shí)大一倍以上。排氣10分鐘后，將控溫儀表設(shè)定到150℃，自動(dòng)加熱開(kāi)關(guān)撥向開(kāi)，氣體氮化爐邊排氣邊加熱150℃保持2h排氣，再將控溫儀表設(shè)定到530℃，把氨氣流量調(diào)小，保持爐內(nèi)正壓。

陜西網(wǎng)帶爐其設(shè)備的特點(diǎn)(1)、氣體氮化爐處理溫度低，時(shí)間短，工件變形小。(2)、氣體氮化爐不受鋼種限制，碳鋼、低合金鋼、工模具鋼、不銹鋼、鑄鐵及鐵基粉未冶金材料均可進(jìn)行軟氮化處理。氣體氮化爐工件經(jīng)軟氮化后的表面硬度與氮化工藝及材料有關(guān)。(3)、氣體氮化爐能顯著地提高工件的疲勞強(qiáng)度、耐磨性和耐腐蝕性。氣體氮化爐在干摩擦條件下還具有抗擦傷和抗咬合等性能。(4)、氣體氮化爐由于軟氮化層不存在脆性相，故氮化層因而具有一定的韌性，不容易剝落。因此，專(zhuān)業(yè)【主詞生產(chǎn)中軟氮化已廣泛應(yīng)用于模具、量具、刀具(如：高速鋼刀具)等、曲軸、齒輪、氣缸套、機(jī)械結(jié)構(gòu)件等耐磨工件的處理。

陜西網(wǎng)帶爐降溫溫度如何控制？在滲氮多用爐氣體法滲氮或氮碳共滲后,如果采用在氨氣的保護(hù)下隨爐冷卻至200℃以下出爐的工藝.打開(kāi)爐蓋后出現(xiàn)爐氣爆燃的事情,時(shí)有發(fā)生,只是程度不同而已。專(zhuān)業(yè)網(wǎng)帶爐試著解釋如下：1、滲氮爐的基本爐氣為氨氣＋氮?dú)猓珰錃?其中氫氣和氨氣都是可燃?xì)怏w,與空氣混合至一定比例范圍時(shí),遇明火（含火星）或者達(dá)到著火溫度即可燃燒,在密封容器中表現(xiàn)為爆炸,敞口容器中表現(xiàn)為爆燃。2、此時(shí)爐溫已在200℃以下,打開(kāi)爐蓋,盡管有空氣進(jìn)入,在沒(méi)有明火點(diǎn)燃的情況下,本應(yīng)該不會(huì)發(fā)生氣體燃燒（爆燃）現(xiàn)象。3、而然,這其中有一個(gè)問(wèn)題,即氫氣是強(qiáng)還原性氣體,隨爐冷卻過(guò)程中它會(huì)將散落在爐罐內(nèi)的呈微粒狀態(tài)的鐵氮化物還原成鐵粉.我們知道微小的還原鐵粉遇空氣會(huì)強(qiáng)烈氧化而發(fā)熱,溫度急劇升高而成為火星。

陜西網(wǎng)帶爐外側(cè)的表面氧化剝落，會(huì)導(dǎo)致開(kāi)裂，使?jié)B碳爐爐罐漏氣是失效的主要形式。鑄造缺陷對(duì)爐罐的使用壽命影響很大，往往在缺陷處的氧化、開(kāi)裂機(jī)會(huì)較多。爐罐輕微開(kāi)裂后經(jīng)補(bǔ)焊使用不久，又很快損壞，這主要是由于經(jīng)氧化、滲碳后焊接性能下降所致。由于滲碳爐罐的外側(cè)接近電熱元件，溫度較高，專(zhuān)業(yè)網(wǎng)帶爐可達(dá)950一l000度，爐罐具有良好的抗氧化性;爐罐的內(nèi)側(cè)處于滲碳?xì)夥罩校@就要求滲碳爐又需具有良好的抗?jié)B碳性。同時(shí)，還因滲碳爐的載荷較大，故還要求滲碳爐具有較高的高溫強(qiáng)度。有時(shí)在滲碳爐口部以下產(chǎn)生環(huán)狀裂紋，這與滲碳爐的結(jié)構(gòu)及該區(qū)復(fù)雜的應(yīng)力情況有關(guān)。從結(jié)構(gòu)上可以看出，產(chǎn)生環(huán)裂區(qū)域正是滲碳爐罐內(nèi)高溫區(qū)與上部罐口部分的低溫區(qū)之間的過(guò)渡地帶。