湖南托輥網(wǎng)帶爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過程中的關(guān)鍵裝備。供應(yīng)托輥網(wǎng)帶爐主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)國內(nèi)開發(fā)和研究具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備,有著重要的理論意義和工程應(yīng)用價(jià)值。公司針對(duì)現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對(duì)快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求,在綜合分析國內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上,通過深入的分析研究,設(shè)計(jì)了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置,上下兩排成正交的燈管組對(duì)位于其中間的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行直接加熱實(shí)現(xiàn)溫度的快速上升,以單點(diǎn)測溫作為溫度測量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論,以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標(biāo)作為己知參數(shù)計(jì)算得到系統(tǒng)所需要的熱功率。
湖南托輥網(wǎng)帶爐是屬于很特殊的一種電爐,在很多行業(yè)中都有很大的應(yīng)用,氣氛網(wǎng)帶爐主要由爐體,溫控系統(tǒng)以及網(wǎng)帶傳動(dòng)系統(tǒng)三部分組成,其中,氣氛網(wǎng)帶爐爐體由進(jìn)料段、預(yù)燒段、燒結(jié)段、緩冷段、水冷段及出料段組成;溫控系統(tǒng)由熱電偶、數(shù)顯式智能PID調(diào)節(jié)器和可控硅組成,形成閉環(huán)控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)精確控溫. 加熱元件采用FEC陶瓷加熱板或陶瓷發(fā)熱棒;網(wǎng)帶傳動(dòng)系統(tǒng)由耐高溫網(wǎng)帶、傳動(dòng)裝置等組成。網(wǎng)帶的運(yùn)行速度通過變頻器調(diào)節(jié),配置有數(shù)顯式網(wǎng)帶測速裝置,可直讀網(wǎng)帶速度。供應(yīng)托輥網(wǎng)帶爐適用于中小軸承圈套、滾子、自攻螺釘、螺帽、手工具、五金零件等的熱處理。氣氛網(wǎng)帶爐熱處理零件質(zhì)量穩(wěn)定,質(zhì)量重現(xiàn)性好,零件表面光潔。
湖南托輥網(wǎng)帶爐爐輥的安裝是什么樣子的呢?供應(yīng)托輥網(wǎng)帶爐下面為大家詳細(xì)介紹。爐輥的安裝分上、下爐輥兩個(gè)部分,下部爐輥用專用吊具吊入后放到升降臺(tái)車上,然后進(jìn)行兩端零部件的組裝。上部爐輥用專用吊具吊入后則應(yīng)用手拉葫蘆將其吊住,然后進(jìn)行兩端零部件的組裝。上部爐輥安裝要考慮爐殼的受熱膨脹,爐輥安裝時(shí)要注意軸承的間隙調(diào)整。以裝入時(shí)測的軸承原始狀態(tài)的間隙為初始值,然后將軸承鎖緊帽扮緊,測得最小值后再松開軸承鎖緊帽,調(diào)整測量軸承間隙達(dá)到設(shè)計(jì)要求的數(shù)值為止,然后進(jìn)行其他部件的安裝工作。爐子內(nèi)襯板的安裝。爐子內(nèi)襯板的安裝是換代爐子的一個(gè)顯著特點(diǎn),它是以爐內(nèi)新型的保溫材料代替了舊的保溫材料,外面再用不銹鋼內(nèi)襯板封住保溫材料的結(jié)構(gòu)方式。
湖南托輥網(wǎng)帶爐使用安全操作步驟1.滲氮前的氣體氮化爐必須是先經(jīng)過正火或調(diào)質(zhì)處理過的工件。2.先用汽油和酒精擦洗氣體氮化爐工件表面,不得有銹斑、油污、臟物存在。3.裝入爐內(nèi)后,對(duì)稱擰緊爐蓋壓緊螺栓。4.將爐罐和爐蓋進(jìn)水口通入冷卻水進(jìn)行循環(huán)水冷。氣體氮化爐爐蓋上管道冷卻水下端為進(jìn)水,上端為出水,爐罐單獨(dú)進(jìn)水,單獨(dú)排水,供應(yīng)托輥網(wǎng)帶爐爐蓋所有水管可按低進(jìn)高出原則串聯(lián),由一個(gè)口進(jìn)水,一個(gè)口排水。5.氣體氮化爐升溫前應(yīng)先送氮?dú)馀艢猓艢鈺r(shí)流量應(yīng)比使用時(shí)大一倍以上。排氣10分鐘后,將控溫儀表設(shè)定到150℃,自動(dòng)加熱開關(guān)撥向開,氣體氮化爐邊排氣邊加熱150℃保持2h排氣,再將控溫儀表設(shè)定到530℃,把氨氣流量調(diào)小,保持爐內(nèi)正壓。
湖南托輥網(wǎng)帶爐一般是由爐體,網(wǎng)帶傳動(dòng)系統(tǒng)及溫控三大部分組成,它主要是用于粉末冶金制品燒結(jié)及金屬粉末的還原。供應(yīng)托輥網(wǎng)帶爐按照運(yùn)行發(fā)生可分為托輥爐和托板爐兩種,托板爐又分有馬弗爐和無馬弗爐兩種。由于網(wǎng)帶爐在窯爐系統(tǒng)中經(jīng)常被使用到,所以難免會(huì)出現(xiàn)一些故障。下面對(duì)幾種常見故障以及解決辦法進(jìn)行一個(gè)簡要的分析以及檢修處理。1、加熱開關(guān)沒有開,但溫度仍然上升。造成這種情況的原因是加熱交流接觸器的觸頭粘合在一起,無法斷開。排除辦法是更換接觸器。2、打開加熱開關(guān)后電源跳閘。3、通電后無法開機(jī)。4、爐體內(nèi)部溫度不均勻,異常偏高。只有定期對(duì)網(wǎng)帶爐內(nèi)的各個(gè)項(xiàng)目,例如控制箱內(nèi)、爐頂蓋通風(fēng)孔、控制箱各部件螺絲等項(xiàng)目經(jīng)常進(jìn)行檢查,相信可以未雨綢繆,避免許多不必要造成的故障。