河南多用爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過程中的關(guān)鍵裝備。供應(yīng)多用爐主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展,對國內(nèi)開發(fā)和研究具有自主知識產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備,有著重要的理論意義和工程應(yīng)用價值。公司針對現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求,在綜合分析國內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上,通過深入的分析研究,設(shè)計了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置,上下兩排成正交的燈管組對位于其中間的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行直接加熱實(shí)現(xiàn)溫度的快速上升,以單點(diǎn)測溫作為溫度測量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論,以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標(biāo)作為己知參數(shù)計算得到系統(tǒng)所需要的熱功率。
隨著我國工業(yè)的發(fā)展,熱工設(shè)備公司迎來一個又一個的發(fā)展高潮,全國各地?zé)o數(shù)家熱工設(shè)備公司提供的產(chǎn)品也是很齊全的,也是為了迎合日益增長的的市場需求。在熱工設(shè)備公司提供的產(chǎn)品中,河南多用爐是比較基本的產(chǎn)品了,其應(yīng)用也是很普遍的。任何產(chǎn)品都是有使用壽命的,退火爐也不例外,一般買了這種新的熱處理產(chǎn)品,供應(yīng)多用爐在第一次使用的時候是要注意的,如果第一次不按照要求進(jìn)行使用,不但會為以后的使用過程中養(yǎng)成不好的習(xí)慣,而且對設(shè)備的使用壽命也會造成不良的影響,那么首次使用退火爐的時候應(yīng)該注意那些方面呢?首先要注意的就是設(shè)備內(nèi)部的潔凈了,有些人在用這種設(shè)備的時候不懂得使用的方法和注意事項,喜歡向爐內(nèi)直接灌入液體,這樣很不利于設(shè)備內(nèi)部的清潔,時間久了會影響使用。
河南多用爐外側(cè)的表面氧化剝落,會導(dǎo)致開裂,使?jié)B碳爐爐罐漏氣是失效的主要形式。鑄造缺陷對爐罐的使用壽命影響很大,往往在缺陷處的氧化、開裂機(jī)會較多。爐罐輕微開裂后經(jīng)補(bǔ)焊使用不久,又很快損壞,這主要是由于經(jīng)氧化、滲碳后焊接性能下降所致。由于滲碳爐罐的外側(cè)接近電熱元件,溫度較高,供應(yīng)多用爐可達(dá)950一l000度,爐罐具有良好的抗氧化性;爐罐的內(nèi)側(cè)處于滲碳?xì)夥罩?,這就要求滲碳爐又需具有良好的抗?jié)B碳性。同時,還因滲碳爐的載荷較大,故還要求滲碳爐具有較高的高溫強(qiáng)度。有時在滲碳爐口部以下產(chǎn)生環(huán)狀裂紋,這與滲碳爐的結(jié)構(gòu)及該區(qū)復(fù)雜的應(yīng)力情況有關(guān)。從結(jié)構(gòu)上可以看出,產(chǎn)生環(huán)裂區(qū)域正是滲碳爐罐內(nèi)高溫區(qū)與上部罐口部分的低溫區(qū)之間的過渡地帶。
河南多用爐為了提高效率并有效降低成本,采用剃齒工藝,工藝路線為:齒坯加工——滾齒——熱處理——硬車內(nèi)孔和端面——成品,即在熱處理后不對齒輪進(jìn)行精加工,關(guān)鍵尺寸、齒輪精度都在熱處理過程中保證,多用爐生產(chǎn)指出通過分析,該齒輪主要的制造難度在內(nèi)孔和B端面的熱處理畸變,以往的生產(chǎn)過程記錄顯示B端面的平面度在0.08-0.25mm之間,因齒輪內(nèi)孔和端面是檢驗和安裝基準(zhǔn),內(nèi)孔和端面的超差直接安裝后差速器異響的問題較突出。因此,控制內(nèi)孔的熱處理畸變及端面的平面度是剃齒工藝成功的關(guān)鍵。1.對于不能成批定型生產(chǎn)的,工件大小不相等的,種類較多的,多用爐廠家要求工藝上具有通用性、多用性的,可選用箱式多用爐。2.加熱長軸類及長的絲桿,管子等工件時,可選用深井式電爐。
河南多用爐的操作流程是什么樣的?氮化爐價格參差不齊,也受到操作流程的影響,接下來我們一起來看看滲氮多用爐的操作流程是什么樣的。供應(yīng)多用爐具有處理溫度低,時間短,工件變形小的特點(diǎn),性質(zhì):高疲勞極限和良好的耐磨性。1.滲氮前的氣體氮化爐必須是先經(jīng)過正火或調(diào)質(zhì)處理過的工件。2.先用汽油和酒精擦洗氣體氮化爐工件表面,不得有銹斑、油污、臟物存在。3.裝入爐內(nèi)后,對稱擰緊爐蓋壓緊螺栓。4.將爐罐和爐蓋進(jìn)水口通入冷卻水進(jìn)行循環(huán)水冷。氣體氮化爐爐蓋上管道冷卻水下端為進(jìn)水,上端為出水,爐罐單獨(dú)進(jìn)水,單獨(dú)排水,氣體氮化爐爐蓋所有水管可按低進(jìn)高出原則串聯(lián),由一個口進(jìn)水,一個口排水。5.氣體氮化爐升溫前應(yīng)先送氮?dú)馀艢猓艢鈺r流量應(yīng)比使用時大一倍以上。
河南多用爐爐輥的安裝是什么樣子的呢?供應(yīng)多用爐下面為大家詳細(xì)介紹。爐輥的安裝分上、下爐輥兩個部分,下部爐輥用專用吊具吊入后放到升降臺車上,然后進(jìn)行兩端零部件的組裝。上部爐輥用專用吊具吊入后則應(yīng)用手拉葫蘆將其吊住,然后進(jìn)行兩端零部件的組裝。上部爐輥安裝要考慮爐殼的受熱膨脹,爐輥安裝時要注意軸承的間隙調(diào)整。以裝入時測的軸承原始狀態(tài)的間隙為初始值,然后將軸承鎖緊帽扮緊,測得最小值后再松開軸承鎖緊帽,調(diào)整測量軸承間隙達(dá)到設(shè)計要求的數(shù)值為止,然后進(jìn)行其他部件的安裝工作。爐子內(nèi)襯板的安裝。爐子內(nèi)襯板的安裝是換代爐子的一個顯著特點(diǎn),它是以爐內(nèi)新型的保溫材料代替了舊的保溫材料,外面再用不銹鋼內(nèi)襯板封住保溫材料的結(jié)構(gòu)方式。