重慶氣體發(fā)生器是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過程中的關(guān)鍵裝備。專業(yè)氣體發(fā)生器主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)國內(nèi)開發(fā)和研究具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備，有著重要的理論意義和工程應(yīng)用價(jià)值。公司針對(duì)現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對(duì)快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求，在綜合分析國內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上，通過深入的分析研究，設(shè)計(jì)了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置，上下兩排成正交的燈管組對(duì)位于其中間的半導(dǎo)體硅片進(jìn)行直接加熱實(shí)現(xiàn)溫度的快速上升，以單點(diǎn)測溫作為溫度測量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論，以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標(biāo)作為己知參數(shù)計(jì)算得到系統(tǒng)所需要的熱功率。

重慶氣體發(fā)生器用途：各種金屬機(jī)件和材料的回火、淬火、預(yù)熱等熱處理。專業(yè)氣體發(fā)生器特點(diǎn)：1、電爐設(shè)有熱風(fēng)循環(huán)裝置使?fàn)t溫均勻，工件受熱均勻；2、電爐裝載量大、生產(chǎn)率高，適用于各種類型的　機(jī)件回火、淬火、預(yù)熱用；3、電爐爐襯采用全纖維結(jié)構(gòu)，提高爐體保溫性能，節(jié)約能源，降低生產(chǎn)成本；4、電　爐裝御料方便，操作條件好；5、爐門為前后雙開式，２只裝料臺(tái)車輪流工作，節(jié)約能量并提高效率，操作方便；　6、電爐設(shè)有連鎖保護(hù)裝置，可防止因誤操作而發(fā)生的故障及事故；7、無污染，環(huán)保效益好。

智能控制技術(shù)特別適合于退火爐這樣具有非線性、時(shí)變的控制系統(tǒng)。隨著智能技術(shù)的不斷發(fā)展，越來越多的智能技術(shù)融入到控制理論中，如專家系統(tǒng)控制、模糊控制、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制、遺傳算法、人工免疫等控制算法。氣體發(fā)生器生產(chǎn)指出這些控制方法在退火爐等工業(yè)爐窯控制中也逐步得到了應(yīng)用。退火爐主要部件為加熱部件和冷卻部件，期望能實(shí)現(xiàn)比較均衡穩(wěn)定的溫度控制。國內(nèi)外很多學(xué)者在溫度控制方面進(jìn)行了大量的研究，在控制方法和控制手段上的研究成果直接推動(dòng)著退火爐控制的研制工作。對(duì)罩式光亮退火爐控制系統(tǒng)進(jìn)行了分析研究，使用PID算法進(jìn)行編程，重慶氣體發(fā)生器采用可編程控制器在該爐電氣控制系統(tǒng)中進(jìn)行了實(shí)際應(yīng)用，取得了較好的生產(chǎn)效益。

怎樣確定箱式多用爐燒碳黑？氣體發(fā)生器生產(chǎn)介紹當(dāng)爐內(nèi)有大量碳黑沉積時(shí)，會(huì)破壞爐內(nèi)的滲碳反應(yīng)過程，影響碳勢控制穩(wěn)定性，影響加熱元件的熱傳遞，降低爐內(nèi)構(gòu)件的使用壽命。爐內(nèi)出現(xiàn)較多積碳時(shí)應(yīng)及時(shí)燒掉，建議三周左右燒一次碳黑，如果積碳黑速度較快，應(yīng)適當(dāng)縮短燒碳黑的周期。專業(yè)氣體發(fā)生器 燒碳黑過程： 1.將爐溫降到820～850℃； 2.當(dāng)爐溫穩(wěn)定后，打開前門，隨后關(guān)閉前門火簾點(diǎn)火燒嘴截止閥，火簾自動(dòng)熄滅； 3.關(guān)閉碳勢控制，關(guān)閉甲醇、丙酮截止閥，關(guān)閉氮?dú)饨刂归y，停止后室供氣；4.中門打開50～100mm，保持約2小時(shí)，開始燒碳黑，燒碳黑過程中注意爐溫的變化。如果爐溫上升較快或較多，將中門關(guān)閉待爐溫下降后再次打開中門；（燒碳黑時(shí)也可以不打開中門，停止后室供氣保持4～6小時(shí)具有相同效果） 5.燒碳黑完成后，關(guān)閉中門。