智能控制技術(shù)特別適合于退火爐這樣具有非線性、時變的控制系統(tǒng)。隨著智能技術(shù)的不斷發(fā)展,越來越多的智能技術(shù)融入到控制理論中,如專家系統(tǒng)控制、模糊控制、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制、遺傳算法、人工免疫等控制算法。井式無馬弗滲碳爐廠家指出這些控制方法在退火爐等工業(yè)爐窯控制中也逐步得到了應(yīng)用。退火爐主要部件為加熱部件和冷卻部件,期望能實現(xiàn)比較均衡穩(wěn)定的溫度控制。國內(nèi)外很多學者在溫度控制方面進行了大量的研究,在控制方法和控制手段上的研究成果直接推動著退火爐控制的研制工作。對罩式光亮退火爐控制系統(tǒng)進行了分析研究,使用PID算法進行編程,山東井式無馬弗滲碳爐采用可編程控制器在該爐電氣控制系統(tǒng)中進行了實際應(yīng)用,取得了較好的生產(chǎn)效益。
山東井式無馬弗滲碳爐是現(xiàn)代大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝過程中的關(guān)鍵裝備。專業(yè)井式無馬弗滲碳爐主要用于離子注入后雜質(zhì)的激活、淺結(jié)制作、生長高質(zhì)量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術(shù)的飛速發(fā)展,對國內(nèi)開發(fā)和研究具有自主知識產(chǎn)權(quán)的快速退火爐裝備,有著重要的理論意義和工程應(yīng)用價值。公司針對現(xiàn)代半導(dǎo)體器件退火工藝對快速退火爐系統(tǒng)的技術(shù)要求,在綜合分析國內(nèi)外各種快速退火滬系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)上,通過深入的分析研究,設(shè)計了系統(tǒng)總體技術(shù)方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置,上下兩排成正交的燈管組對位于其中間的半導(dǎo)體硅片進行直接加熱實現(xiàn)溫度的快速上升,以單點測溫作為溫度測量的解決方案作為系統(tǒng)總體方案.根據(jù)熱傳導(dǎo)基本理論,以實現(xiàn)系統(tǒng)總體技術(shù)指標作為己知參數(shù)計算得到系統(tǒng)所需要的熱功率。
大型井式氣體氮化爐,山東井式無馬弗滲碳爐全稱RNJ系列井式氣體氮化爐屬節(jié)能型氣體氮化爐,采用真空橡膠密封,井式氣體氮化爐保溫性,爐溫均勻性,密封性好。專業(yè)井式無馬弗滲碳爐的外殼由鋼板及型鋼焊接而成,爐襯由超輕質(zhì),高強度節(jié)能耐火磚砌成, 爐襯用硅酸鋁纖維保溫。 氮化爐加熱元件由高溫電阻絲繞成螺旋狀,安裝在爐襯的擱磚上,在氮化爐爐膛中安有不銹鋼爐罐。爐蓋上安裝有雙頭不銹鋼滴注器供滴注液體。氮化爐爐蓋上裝有取樣管、排氣管、點火管,爐罐上部設(shè)有輸入管可供氨氣輸入。井式氣體氮化爐屬周期作業(yè)工業(yè)爐。氮化爐主要供各種鋼制機械零件、汽車曲軸、汽車活塞環(huán)、摩托車剎車片、模具等進行氣體氮化熱處理之用。
山東井式無馬弗滲碳爐可以在520度的高溫下正常工作,專業(yè)井式無馬弗滲碳爐為真空密封的不銹鋼罐,有高硬度,高耐磨性,氮化爐的主要特點是:1,氮化爐處理時間短,工件變形小。2,氮化爐不受材質(zhì)的影響,可以處理不銹鋼、鑄鐵及鐵基粉未冶金材料、碳鋼、低合金鋼、工模具鋼。3,氮化爐防摩擦,防腐蝕。4,氮化爐有一定的仍性,不容易剝落。為了縮短氮化周期,并使氮化工藝不受鋼種的限制,在近年間在氮化爐工藝基礎(chǔ)上發(fā)展了軟氮化和離子氮化兩種新氮化工藝。氮化爐處理結(jié)果與一般氣體氮化相比,滲層硬度較氮化低,脆性較小。公司的主要產(chǎn)品箱式多用爐生產(chǎn)線,井式爐生產(chǎn)線,單、雙推盤爐生產(chǎn)線,輥棒爐生產(chǎn)線,網(wǎng)帶爐生產(chǎn)線等。